機臺用途: 機臺用來完成對外延石英鐘罩的清洗;工件進行內(nèi)部腐蝕清洗并干燥，外部進行水洗。
適用鐘罩型號：3061；630/680
※ 機臺名稱：外延鐘罩清洗機。
※ 控制模式: 手動控制模式 自動控制模式。
※ 機臺數(shù)量：一臺。
※ 機臺重量：1000Kg(預(yù)估值)。
※ 清洗能力：客戶提供圖紙及詳細參數(shù)，1 Pcs/cassette。
※ 清洗方式: 濕法噴淋+噴(烘)干。
※ 機臺封面：使用德國ROCHLING品牌之聚丙烯磁白PP板材(厚度10mm) 。
※ 主要結(jié)構(gòu)材質(zhì)：使用德國ROCHLING品牌之聚丙烯磁白PP板材(厚度10mm) 。
※ 機臺視窗：使用德國ROCHLING品牌透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度5mm) 。
※ 機臺主機強度結(jié)構(gòu)：整體40*40碳鋼金屬結(jié)構(gòu)骨架。
※ 防漏盤：配有分體式聚丙烯磁白PP板材防漏盤。
※ 排風系統(tǒng)：排風強勁合理設(shè)計，為了排風效果達到最佳，排風通道內(nèi)設(shè)有風量導(dǎo)流板，為了方便操作人員根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機臺排風 背板上的可拆卸式排風柵欄再配合機臺視窗上的可調(diào)進氣模塊使用達到最佳使用效果。
※ 機臺操作面板設(shè)有EMO急停按鈕；排放口配有可拆卸過濾網(wǎng)裝置，防止碎硅渣進入下水管道系統(tǒng)；具有漏電斷路保護裝置，電氣箱內(nèi)部通入壓縮空氣作為正壓保護。
※ 安全互鎖裝置: 裝有工件感應(yīng)器，只有感應(yīng)到工件后才允許開始清洗工藝。
※ 腐蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性。
※ 可根據(jù)需要定時定量補充槽體藥液。
※ 工藝參數(shù)（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調(diào)）手動由觸摸屏界面可設(shè)定。
※ 全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；
※ 清洗流程：首先人工手動將石英鐘罩放入清洗立式活動腔體定位區(qū)域內(nèi)，通過人工目測確認后手動將石英鐘罩位置檢測探頭定位鎖緊（與安全監(jiān)測裝置互鎖）;檢查水、電、氣正常，活動門（雙層）封閉，然后啟動按鈕→進入一次DIW清洗程序→一般廢水主排放管路→進入稀酸洗程序→自動噴稀混酸（石英鐘罩內(nèi)壁）→自動卸酸排放至廢酸管路→進入二次DIW清洗程序→一般廢水主排放管路→進入濃酸洗程序→自動噴濃混酸（石英鐘罩內(nèi)壁）→自動卸酸排放至稀酸儲液箱→進入三次DIW清洗程序→石英鐘罩內(nèi)壁DIW噴淋清洗（同時排水閥打開）→報警→HOT氮氣內(nèi)外壁吹干→合格報警→人工將石英鐘罩取出清洗機，完成整個清洗工作。
※ 特點&優(yōu)點
*視窗為雙層設(shè)計，操作安全 *設(shè)備占地面積小（4.9㎡）
*噴淋裝置噴淋均勻無死角 *N2加熱材料高純無污染，in-line加熱
*封壓裝置動作平穩(wěn)，密封性強，耐腐蝕，多重檢測 *溫度自動校準
*軟硬件互鎖裝置保證操作人員人身安全 *清洗能力是傳統(tǒng)設(shè)備的2倍
※ 廠務(wù)需求規(guī)范數(shù)據(jù)
1 | 電源 | AC380VA±10（五線制）50Hz±1% 10KW（預(yù)估值）控制回路DC24V（符合大陸規(guī)定） |
2 | DI水壓力 | 0.35～0.45Mpa 管徑：DN40*1 PVDF材質(zhì)管路； |
3 | CDA氣源壓力 | 0.45～0.7Mpa 管徑: Rc3/8—3/4*1 插管式接頭+PFA管路； |
4 | N2氣源壓力 | 0.3～0.45Mpa 管徑: Rc3/8—3/4*1 插管式接頭+PFA管路； |
5 | 溫度 | 23±1℃； |
6 | 濕度 | 53±5%； |
7 | 一般排水口 | DN50*2 PVDF材質(zhì)管路； |
8 | 廢液排放口徑 | DN50*2 PVDF材質(zhì)管路； |
9 | 排氣 | ￠200mm*2 500-800m3/h*2（預(yù)估值可以根據(jù)廠務(wù)要求調(diào)整）； |
10 | 設(shè)備后房維修空間尺寸 | 500mm—800mm； |
1：取決于工藝 2：系統(tǒng)根據(jù)特定國家電源會做更改